装备事业
Start Your Business With iNTROS
iNTROS
设备事业iNTROS是一家半导体设备安装公司,可以基于从安装到拆卸为止的
Set up专业知识提供各方面的服务,并根据客户的需求进行优化。
8C/6C Common Specification
按照共同应用于半导体设备的常用规格标准书格式
以实现FAB之间相同的Process Performance为目的进行检查。
考虑到设备各常用规格零件的性能和使用条件
检查每个Check sheet,并按照复合每个部位的规格进行安装
8C/6C 检查项目
机身连接零件 驱动传动系统 润滑系统 气压系统标贴粘贴示例
项 目 | 目 的 | 检查部位 |
---|---|---|
连接 | 组成设备的所有零件与设备机身正确连接并使其正确驱动 |
检查基础状态 基础螺栓 水平螺栓 调节状态 螺丝生锈/螺纹状态/松 螺钉头/防止松动/磨损等 有无垫圈等 所有连接部位 |
驱动/传达 | 将自然能传递到机器并将其转化为运动来保持加工点的连续性 |
进行I-Marking 检查连接部位 |
润滑 |
根据润滑常用规格类型,分为润滑油、润滑脂和切削油 并平滑地移动滑动部件以减少摩擦并防止磨损或变形。 如果各部位有缺陷,就会发生质量缺陷或故障停止。 |
检查连接部位 进行I-Marking Gauge spec管理 |
气压 | 利用气压使直线和曲线平滑移动 |
I-Marking处理,规格管理 粘贴标签, END CAP处理 检查连接部位 |
液压 | 通过液压平滑移动基于直线运动的加工工作 |
Gauge spec管理,I-Marking处理 规格管理,标签粘贴 流向显示,连接部位检查等 |
电装 控制 |
转换电能以保持加工点的连续性 向各个机械供应能源的系统开关摇晃,或者外部接线的绝缘部分受损等 各个部位有缺陷时,会发生质量缺陷或故障停止 |
I-Marking,测电阻 粘贴标签,物性区分,电缆符合性 传感器检查等 |
其他 | 检查设备的所有部分,用END CAP、端子、标签、贴纸和I-Marking等进行处理 |