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装备事业

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8C/6C领域

iNTROS

设备事业

iNTROS是一家半导体设备安装公司,可以基于从安装到拆卸为止的
Set up专业知识提供各方面的服务,并根据客户的需求进行优化。

基于新设备Set up及Relocation的业绩,我们拥有最专业的知识,基于从设备的搬入、安装、拆卸和调整为止丰富的SOP,拥有先进的技术和专业知识,并在中国提供高质量的服务。

8C/6C Common Specification

按照共同应用于半导体设备的常用规格标准书格式
以实现FAB之间相同的Process Performance为目的进行检查。

考虑到设备各常用规格零件的性能和使用条件
检查每个Check sheet,并按照复合每个部位的规格进行安装

8C/6C 检查项目

机身连接零件 驱动传动系统 润滑系统 气压系统
液压系统 电装控制系统 其他

标贴粘贴示例

8C/6C规格项目
项 目 目 的 检查部位
连接 组成设备的所有零件与设备机身正确连接并使其正确驱动 检查基础状态
基础螺栓 水平螺栓 调节状态
螺丝生锈/螺纹状态/松
螺钉头/防止松动/磨损等
有无垫圈等
所有连接部位
驱动/传达 将自然能传递到机器并将其转化为运动来保持加工点的连续性 进行I-Marking
检查连接部位
润滑 根据润滑常用规格类型,分为润滑油、润滑脂和切削油
并平滑地移动滑动部件以减少摩擦并防止磨损或变形。
如果各部位有缺陷,就会发生质量缺陷或故障停止。
检查连接部位
进行I-Marking
Gauge spec管理
气压 利用气压使直线和曲线平滑移动 I-Marking处理,规格管理
粘贴标签, END CAP处理
检查连接部位
液压 通过液压平滑移动基于直线运动的加工工作 Gauge spec管理,I-Marking处理
规格管理,标签粘贴
流向显示,连接部位检查等
电装 控制 转换电能以保持加工点的连续性
向各个机械供应能源的系统开关摇晃,或者外部接线的绝缘部分受损等
各个部位有缺陷时,会发生质量缺陷或故障停止
I-Marking,测电阻
粘贴标签,物性区分,电缆符合性
传感器检查等
其他 检查设备的所有部分,用END CAP、端子、标签、贴纸和I-Marking等进行处理

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